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三甲基硅叠氮又叫叠氮基三甲基硅烷，有文献报道其可由叠氮化钠和氯化三甲基硅烷通过一步反应制备得到。
向装备有回流冷凝管、温度计和搅拌器的烧瓶中，加入250ml硅油(TSF458-100，GE Toshiba Silicone Co.，Ltd.)、77.0g(1.2mol)叠氮化钠和2.5g聚乙二醇，将该混合物加热至50-59℃，并向其中滴加125.0g(1.2mol)氯化三甲基硅烷。滴加完成后，将反应在59℃下进行2小时。反应完成后，通过加热将内温升至105℃，通过简单蒸馏分离叠氮基三甲基硅烷。同样，在蒸馏完成后，副产物盐可以被分散，并且搅拌可容易地进行。结果，获得的128.5g(1.1mol)叠氮基三甲基硅烷为澄清无色液体。该量相对于氯化三甲基硅烷，对应96.9％的产率。另外，其纯度通过气相色谱(GC)分析为97.9％。
在氮气的保护下将88克叠氮化钠和500ml甲苯分别投入1L的四口瓶中，在35℃下，快速滴入130克三甲基氯硅烷，混合液会略有浑浊，有微弱的升温现象发生，滴加完毕后，在2-3个小时内升温到70℃，保温反应16个小时后停止加热，混合液自然冷却至室温，并停止搅拌，将上述制备好的混合液倒入滴液漏斗中备用。
CN202010004070.X报道了一种制备1H-[1,2,3]-三唑并[4,5-c]喹啉类化合物的方法，所述方法为：将β-(2-氨基芳基)-α,β-炔酮(1)、叠氮基三甲基硅烷(2)、含氟催化剂和反应溶剂混合，在0～60℃下反应3～8h，TLC监测至原料完全转化后，反应液经后处理，得到产物(I)；本发明以价廉易得的含氟试剂为催化剂，催化剂用量少，同时，由于未使用金属试剂，后处理简单，容易满足药物和电子材料的品质要求，使用叠氮基三甲基硅烷代替叠氮化钠作为叠氮源，毒性小，安全性高，反应条件温和，在室温下即可顺利进行，底物范围广，收率高；
[1] [中国发明,中国发明授权] CN200580033050.9 叠氮基三甲基硅烷的制备方法
[2] CN202010004070.X一种制备1H-[1,2,3]-三唑并[4,5-c]喹啉类化合物的方法
[3] [中国发明] CN202010240806.3 一种N-环己基-5-(4-氯丁基)-1H-四氮唑的合成方法